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.可設(shè)置2組Sputter及2側(cè)陰極電弧模組。

.整合PVD及PECVD系統(tǒng)技術(shù),可以制備附著性極佳之Me/DLC復(fù)合鍍層技術(shù)。

.可彈性應(yīng)用于刀工具硬質(zhì)膜層之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。

.可制備:TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等。


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